近年來隨著我國微電子制造、半導體業的發展,凈化車間的應用也越來越廣泛,如微電子制造 、半導體 、生物制藥、汽車電子、食品加工等行業都在應用潔凈技術,因此,凈化車間的施工對我們來說也就越來越重要。
凈化車間是指將一定空間范圍之內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。
建設凈化車間工程是涉及到眾多學科的綜合型工程,好的設計方案是工程完美實現的基礎,也是前提條件。當前,科學技術日新月異,各類工業產品加工生產過程趨向精密化、微型化,特別是微電子、生物、藥品、精密機械加工等高速發展,使潔凈技術得到日益廣泛的應用。潔凈廠房設計的主要任務是控制生產環境中的含塵數量,保障室內合格的潔凈度。方案設計是前提,施工安裝是基礎。所有優秀的設計都需要施工安裝才能落地實施。根據多年施工經驗,分享一種凈化車間施工技術和工藝,僅供大家參考。本工藝主要適用于電子、半導體廠 房的凈化車間的制作、安裝、測試,同時也適用于醫藥、食品等廠房的潔凈室的施工 。
按各施工工序結合潔凈管制要求,施工進行分區和分階段進行施工和管制。分成四區進行安全有序的施工,分成三階段進行施工管制:
一般潔凈階段 :
指常規的設備安裝階段,包括一些機械設備、送排風系統及吊頂支架等的安裝。這個階段的旌工主要圍繞產塵工序,在四周壁板安裝前,要檢查地面、設備基礎,根據施工現場做初步 的地面處理,避免在做環氧前產生大量灰塵,壁板放好基準線后,可以局部安裝壁板,以方便上層吊頂板的定位上層吊頂板定位后要及時核對所有預留洞,金屬壁板安裝前,所有在水泥基層上產塵的作業都應施工完畢,隨后就可進行四周壁板和上層吊頂板的安裝J:層吊頂板安裝完畢,靜壓箱內的水電安裝開始進行,這是一道關鍵工序,涉及的專業多,關系著整個施工的進度,因此必須在施工前對安裝的交叉部位進行剖面分析,總的安裝順序遵從風管一水管路一橋架一電氣、消防管線 。
由于架空地板的放線需要根據頂板的龍骨位置定位。所以干盤管的安裝不能保證一次到位, 必須采用可調節 式,現場采用c型鋼導軌式安裝方式。為增加支吊架的承載,導軌安裝時牙桿需穿過上層吊頂板與水泥樓板固定,考慮上層吊頂板采用的是巖棉金屬壁板,為減少產 塵,牙桿需套橡膠墊用鎖母與上項板鎖緊。所有在上頂板固定的燈具和消防設備,采用自攻螺絲時都應套上橡膠墊固定。由于這道工序安裝時間長、施工區域大,所以在安裝前,應對安裝區域進行劃分,分區域完善,以便吊頂龍骨按區域及時插入施工。對于區域內的外大門和一些預留洞,要采用薄PVC板封堵。以上工作完成后要及時組織驗收,辦理隱蔽工程報驗。
施工過程要控制好成品的保護和環境因素,由于四周壁板已安裝完畢。在其他專業安裝時如不注意很容易造成壁板的損害,因此水電安裝前一方面要加強教育,另一方面要在四周拉上警示帶,以提醒施工人員,潔凈室環境的前期控制對施工的后期管理有很重要的意義,要使施工人員從一開始就要養成良好的環境意識,另外每天還需安排固定人員進行清掃。在以上工作臨近結束前,清潔工作要避免用水,采用吸塵器清潔,以便為自流平的施工創造條件。
非常潔凈階段 :
此階段自流平己施工完畢,頂上部安裝工作己基本完成 ,因此進入潔凈室內的施工以及進入人數都要進行不同于第一階段的控制。一般設備的工藝管線都會布置在此區域,故安裝前也必須進行認真的分析,避免專業交叉造成安裝困難,地板下的管線需要固定在架空地板的立柱上,采用u型卡固定C型鋼作為管線的支架,所有支架都要保證良好的鍍鋅層,C型鋼兩頭要作好封堵,內部產生的垃圾要及時清理。架空地板在內隔墻安裝前應用 PVC薄膜進行防護 。
隔墻和風淋室等安裝完后,要組織地板下的隱蔽驗收。驗收合格后,現場需要組織全面的清理工作,包括靜壓箱內的所有安裝完畢的材料及設備。全面清理完成后,可以進行壁板的撕膜打膠工作。此項工作完成后,工程進入潔凈管制階段 。
超級潔凈階段:
指潔凈室結構完成后的最后施工階段。在此階段,主要進行高效過濾器、風淋室等對潔凈等級有極高的要求的設備的安裝,包括工藝管線以及一些測試工作。此階段的施工需要按照正式的潔凈要求進行管制:人員進入需要登記和辦理批準手續:全部人員需 要穿潔凈服和從風淋室進入:工作區域要有專門穿潔凈服清潔的人員:所有磨 、切 、割工作都應在工作區外進行。空吹結束后,工程進入空態測試階段。
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